真空条件に関する質問
- 真空（負圧）において使用できるバルブはありますか？
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弊社製品は正圧を前提に設計しており、真空度の保持をすることができません。
真空ラインでご使用される場合は、低真空程度までの範囲で使用可能としています。
※中真空の場合、オプション対応となります。下記FAQをご参照ください。
※低真空を1～600Torr、中真空を0.001～0.1Torr程度を目安としています。漏れ量については下記の表を参照ください。
- 真空度に応じた、バタフライバルブのシリーズを教えてください。
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バタフライバルブは下表の真空度を目安に使用いただけます。
- 真空度に応じた、ボールバルブの仕様を教えてください。
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ボールバルブは下表の真空度を目安に使用いただけます。
フランジ形を推奨しますが、ねじ込み形（標準品）は使用実績よりご使用を判断願います。（ねじ込み品はグランドパッキンの仕様変更は出来ません）
