よくある質問

よくお問い合わせいただくご質問をまとめております。 お問い合わせいただく前に、ご参照いただきますようお願い致します。
トラブルに関しては「トラブルシューティング」をご参照ください。

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真空条件に関する質問

真空(負圧)において使用できるバルブはありますか?

弊社製品は正圧を前提に設計しており、真空度の保持をすることができません。
真空ラインでご使用される場合は、低真空程度までの範囲で使用可能としています。
※中真空の場合、オプション対応となります。下記FAQをご参照ください。
※低真空を1~600Torr、中真空を0.001~0.1Torr程度を目安としています。

漏れ量については下記の表を参照ください。

真空度に応じた、バタフライバルブのシリーズを教えてください。
真空度に応じた、ボールバルブの仕様を教えてください。

真空度に応じた、バタフライバルブのシリーズを教えてください。

バタフライバルブは下表の真空度を目安に使用いただけます。

真空度に応じた、ボールバルブの仕様を教えてください。

ボールバルブは下表の真空度を目安に使用いただけます。
フランジ形を推奨しますが、ねじ込み形(標準品)は使用実績よりご使用を判断願います。(ねじ込み品はグランドパッキンの仕様変更は出来ません)

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